为促进首台(套)重大技术装备创新发展和推广应用，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同，工业和信息化部近日印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》，在重大技术装备文件列表中，列出了氟化氪光刻机和氟化氩光刻机。

光刻机技术是半导体工艺中的关键，决定了芯片晶体管尺寸大小，直接影响芯片性能和功耗。今年以来，国内光刻设备及曝光工艺公开信息逐渐增多，国产光刻机技术持续迎来突破，投资者也从中寻找到了机遇。

“近日，静默的股市被光刻机题材霸屏。有人认为是突破性题材，也有人认为是老调重弹。”网友“仲管仲222”表示，光刻机是一个老题材，类似人形机器人。不过，高端芯片尤其是人工智能芯片国产替代是无法证伪的逻辑。所以，芯片制作是一个非常期待的内容，那么作为芯片制作的关键性设备光刻机成为聚焦点就是自然的方向。周三开盘后，张江高科股价大涨，它大概率代表了光刻机题材的走势，近日多只概念股涨势都不错。除此之外，同飞股份、波长光电、海立股份等概念股都可以关注。

“国产光刻机技术的持续突破，让不少机构都在看好国内晶圆厂的投资增长和国产半导体设备的国产化机遇。”网友“汤记热干面”表示，国产光刻机取得重大突破，全球半导体格局或将重新洗牌。官方披露核心设备进展也会在一定程度上提振市场信心，国产光刻机相关产业链也会受益，相关概念股有张江高科、蓝英装备、新莱应材、东方嘉盛、国林科技、茂莱光学等。值得注意的是，除了光刻机，《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》中还涉及多类集成电路生产装备，包括硅外延炉、湿法清洗机、氧化炉、涂胶显影机、高能离子注入机、低能离子注入机、等离子干法刻蚀机、特种金属膜层刻蚀机等。

记者 张曌 实习记者 孙玮泽